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プラズマで拓く先端テクノロジー

プラズマは、電子やイオン、活性種を含むユニークな環境であり、人の生活に関わるあらゆるプロセスを実現できます。研究では、プラズマプロセスの高精度制御により、高集積化および高機能化が進む集積回路の微細加工における技術革新に挑戦します。また、プラズマを利用すれば、宇宙空間で天体が形成されるのと同様に物質を創成し、空間や表面に配列させられます。これを新規材料のマニピュレーションに用います。大気圧雰囲気で発生させたプラズマには殺菌効果があります。プラズマを種子や植物体に照射すれば、発芽や生長を促進することができます。プラズマを用いて、物質創成、半導体先端テクノロジー、医療、食品、農業などさまざまな分野におけるブレークスルー、さらには未来に求める宇宙環境利用への応用を目指します。